von N1truX » 08.04.2010, 21:26
Luft als ILD ist theoretisch möglich, aber auch nur theoretisch. Das Problem ist die mechanische Stabilität der Leiterbahnen. Das wäre wie eine Kilometer lange Brücke mit Kurven ohne Pfeiler oder sonstige stabilisierende Maßnahmen bauen zu wollen. Mag bei ganz, ganz simplen Strukturen vllt. funktionieren.
Deswegen probiert man schon länger poröse ILDs zu produzieren, aber auch hier nimmt die mechanische Stabilität ab und die Gefahr das Kupfer aus den Leiterbahnen in das ILD diffundiert wird mit zunehmender Porengröße sowie Porenanteil höher. Also müsste man wieder eine Art Diffusions-Barriere einbauen, allerdings ohne die Dielektrizitätszahl zu erhöhen.
Zwecks Anwendung auf GPUs: Anscheinend beherrscht AMD/GF die Technik und so wie es aussieht könnten die nächsten GPUs ja wenigstens zum Teil von GF kommen. Also warum nicht?